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  • SLURRY SUPPLY SYSTEM
  • 항상 고객을 생각하고 만족시키는 起家ENG가 되도록 최선을 다하겠습니다.
  • SYSTEM 개요
  • SEMICONDUCTOR 제조 공정 중 CMP 제조 공정에 필요한
  • SLURRY를 공급하기 위한 SYSTEM이며 DI-W(초 순수)와
  • 일정한 비율로 MIXING 후 CONCENTRATION 관리를 실시
  • 하고 STAND BY VESSEL에서 CIRCULATION LINE을 통하여
  • POU(POINT OF USE)로 공급하는 SYSTEM
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  • APPLICATION
  • 1. SEMICONDUCTOR
  • 2. SLURRY DEVICE MAKER
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